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MM3A納米操縱儀-力學測量系統

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MM3A納米操縱系統-力學測量系統

FMS-EM是一個緊湊型的力測量裝置安裝在操作設備MM3A-EM上,它可以實現力學測量和納米壓痕。

MM3A納米操縱系統-力學測量系統


FMS-EM是一個緊湊型的力測量裝置安裝在納米操作設備MM3A-EM上,它可以實現力學測量和納米壓痕。

FMS-EM擁有最小的尺寸;不需要用激光的方式來顯示力的大??;控制器上力反饋可以在顯示器直觀地描述材料和微機械結構的共振頻率。

該系統的最新版本提供了一個完整的力測量解決方案包括軟件用于數據采集、可視和導出。

這個控制器操作方便,調節只需輕觸一個按鈕和擁有一個USB接口。

這個新的軟件具有校準向導功能和能夠記錄力-時間曲線,插件支架和力傳感器可以很快和容易安裝到您現有的MM3A-EM微操作機器人。
 
FMT 400 傳感器
Tip Force Constant(Calculation)
探針力常數(計算)
2-4N/m
Maximum Tip Force最大探針力
(This value is calculated with assumptive deflection
Of 10% and an average of force constant)
80 µN
Sensor Resistance傳感器電阻 500-650Ω
Sensor Sensitivity傳感器靈敏度
(This value depends on bias voltage Vbridge that is
Applied to series resistence of sensor and reference
3.1 x 10-3 mV/nm at Vbridge=2.5V
Length探針長度 400µm
Width探針寬度 50µm
Height探針高度 4-5µm
Tip Radius針尖半徑 <20nm
Tip Height針尖高度 >5µm
 FMT 120 傳感器
Tip Force Constant(Calculation)
探針力常數(計算)
30-40N/m
Maximum Tip Force最大探針力
(This value is calculated with assumptive deflection
Of 10% and an average of force constant)
360µN
Sensor Resistance傳感器電阻 500-650Ω
Sensor Sensitivity傳感器靈敏度
(This value depends on bias voltage Vbridge that is
Applied to series resistence of sensor and reference
18.8 x 10-3 mV/nm at Vbridge=2.5V
Length探針長度 120µm
Width探針寬度 50µm
Height探針高度 4-5µm
Tip Radius針尖半徑 <20nm
Tip Height針尖高度 >5µm

應用:??壓痕;??拉伸測量;??MEMS分析
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