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PE75實驗室等離子清洗機

PE-75小型等離子表面處理機是專門針對于大學/科研機構、工廠研發的小批量樣品處理裝置,具有移動方便、多種配置功能、超高性能及穩定性、操作方便的特點。

美國產PlasmaCleaningSystem

PE-75臺式實驗室等離子表面處理機


PE-75小型等離子表面處理設備是專門針對于大學研究機構和工廠研發部門設計的小批量樣品處理裝置.作為有針對的設計,PE-75擁有一個大肚量的腔體和大面積的處理電極,適合于單個大樣品的處理。

設備特點:


1.占地體積小,可放置在任何實驗臺上。

2.性能可靠“肚量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無縫焊接,真空腔體273mmDxφ254mm,樣品放置空間大。

3. 配置靈活 可配置不同的頻率及功率:50KHz/13.56MHz;控制系統可選擇了PLC微電腦控制和更精準的全數字電腦控制,以滿足不同用戶的要求。

4. 操作簡便,一般操作人員在極短的時間內就可以熟練操作,甚至只需要幾分鐘就可掌握。

5. 安全保障:在小型設備中,引入一鍵急停保護按鈕,可以快速終止實驗,以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。






標準配置
真空腔 T6處理焊接耐用的6061鋁合金材料
真空腔規格 φ254mmx273mmD
電極規格 一層水平電極W228.6xD254mm間隔139.7mm
等離子發生器 功率:max400W(連續可調)頻率50KHz
供氣 一路氣體通道,配備流量控制器0-25cc/minw/精密針形閥
壓力測量 熱電偶真空計0-1Torr.供氣:6mm連接件
控制器 PLC微電腦控制系統。鍵盤用戶界面,數字字母顯示器。方案工藝可以進行自行設置。
外部尺寸 457mmWX482mmDX609mmH
狀態保護 安全保護型緊急停止按鈕

附件(可選件)


抽氣裝置:推薦型號:5CFM 2級直驅真空油泵
•氧氣發生器
•附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器,0-25cc/min
•50KHz/400w可調節射頻發生器,13.56MHz/125W/300W可調節射頻發生器自動阻抗匹配網絡電源(HF)RF Power Supply&Auto Matching Network
•接枝設備


高級配置:


•PC/筆記本電腦的控制系統:基于Windows操作系統,裝有等PlasmaEtch操作軟件的筆記本電腦,包括全自動系統操作,流程排序,多配方存儲,以及其他高級功能。
•質量流量控制器:附加質量流量控制器也可提供。
•氣流減壓裝置。







處理實例:ITO玻璃等離子處理后親水性及比表面能對比


    處理前:36號達因筆測試立刻收縮                          處理后:50號達因筆 測試合格




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