等離子清洗機

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PE50真空等離子清洗機

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PE50實驗室等離子清洗機

PE-50小型等離子表面處理機是專門針對于大學/科研機構研發的小批量樣品處理裝置，具有移動方便、多種配置功能、超高性能及穩定性、操作方便的特點。

美國產Plasma Cleaning System

PE-50臺式實驗室等離子表面處理機


PE-50小型等離子表面處理設備是專門針對于大學研究機構和工廠研發部門設計的小批量樣品處理裝置.作為有針對的設計，突出移動方便，高功能和性能，操作方便的使用特性。

設備特點:


1.體積小(寬356mmx高368mmx深457mm)，可放置在任何實驗臺上。

2.性能可靠“肚量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無縫焊接，電極面積達到114mmx152mm，腔體與電極之間的間隙可到51mm，樣品放置空間大。另外，PE-50可以升級成PE-50XL，處理面積達到191mmx223mmx90mm。

3.配置靈活可配置不同的頻率及功率：50KHz/13.56MHz；控制系統可選擇了PLC微電腦控制和更精準的全數字電腦控制，以滿足不同用戶的要求。

4.操作簡便，一般操作人員在極短的時間內就可以熟練操作，甚至只需要幾分鐘就可掌握。

5. 安全保障：在小型設備中，引入一鍵急停保護按鈕，可以快速終止實驗，以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。






外部尺寸 356mmWx368mmDx457mmH
真空腔材質 耐用的焊接6061 T6鋁合金真空腔
真空腔尺寸 （約140mm寬x179mm深x89mm高）
電極尺寸 114mm（寬）x152mm（深）間隙51mm
等離子發生器 功率max.400w（可調）
頻率：50KHz（可選配13.56MHz）
供氣 氣體流量控制器0-25cc/minw/精密針形閥
壓力測量 熱電偶真空計0-1Torr
控制器 PLC微電腦控制系統。鍵盤用戶界面，數字字母顯示器。設置方案工藝可以進行自動處理。
安全保障 一鍵急停按鈕
電源 220VAC，14A
PE-50升級版 處理面積191mmx223mmx90mm


附件（可選件）


抽氣裝置：推薦型號：5CFM2級直驅真空油泵
•氧氣發生器
•附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器，0-25cc/min
•50KHz/400w可調節射頻發生器，13.56MHz/125W/300W可調節射頻發生器自動阻抗匹配網絡電源(HF)RFPowerSupply&AutoMatchingNetwork
•接枝設備


高級配置：


•PC/筆記本電腦的控制系統：基于Windows操作系統，裝有等PlasmaEtch操作軟件的筆記本電腦，包括全自動系統操作，流程排序，多配方存儲，以及其他高級功能。
•質量流量控制器：附加質量流量控制器也可提供。
•氣流減壓裝置。





處理實例：光刻膠去除





 


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