等離子清洗機

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PE25真空等離子清洗機

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PE25實驗室等離子清洗機

PE-25是專門針對于大學/科研機構研發的小批量樣品處理裝置，具有移動方便、多種配置功能、高性能及穩定性、操作方便的特點。

美國產Plasma CleaningSystem
PE-25臺式實驗室等離子表面處理機



PE-25小型等離子表面處理設備是專門針對于大學，研究機構和工廠研發機構設計的小批量樣品處理裝置.作為有針對的設計，突出移動方便，多種配置功能和高性能以及穩定性，操作方便的使用特性。

設備特點:


1.體積小，(寬356mm*高368mm*深457mm)，可放置在任何實驗臺上。

2.性能可靠，“肚量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無縫焊接，電極面積達到89mm*170mm，腔體與電極之間的間隙可到53mm，樣品放置空間大。

3.配置靈活，可配置不同的頻率及功率：50KHz，13.56MHz；控制系統可選擇了PLC微電腦控制和更精準的全數字電腦控制，以滿足不同用戶的要求。

4.操作簡便，一般操作人員在極短的時間內就可以熟練操作，甚至只需要幾分鐘就可掌握。

5. 安全保障：在小型設備中，引入一鍵急停保護按鈕，可以快速終止實驗，以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。






外部尺寸 356mm*368mm*457mm
真空腔材質 6061T6鋁合金真空腔
真空腔尺寸 127mm*203mm
電極尺寸 89*178mm，間隙63mm
等離子發生器 功率max.400w（可調）
頻率：50KHz（可選配13.56MHz）
供氣 氣體流量控制器0-25cc/minw/精密針形閥
壓力測量 熱電偶真空計0-1Torr
控制器 PLC微電腦控制系統。
安全保障 一鍵急停按鈕
電源 220VAC，14A

附件（可選件）

抽氣裝置：推薦型號：5CFM 2級直驅真空油泵
•氧氣發生器
•附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器，0-25cc/min
•50KHz/400w可調節射頻發生器，13.56MHz/125W/300W可調節射頻發生器自動阻抗匹配網絡電源(HF)RFPowerSupply&AutoMatchingNetwork
•接枝設備

高級配置：

•PC/筆記本電腦的控制系統：基于Windows操作系統，裝有等Plasma Etch操作軟件的筆記本電腦，包括全自動系統操作，流程排序，多配方存儲，以及其他高級功能。
•質量流量控制器：附加質量流量控制器也可提供。
•氣流減壓裝置。




樣品處理實例（碳化鎢基底上的DLC涂層去除）




 
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