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ET4000臺階儀

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KosakaET4000探針式輪廓儀

ET4000具有高精確性、穩定性和重復性,可測量FPD、晶片、磁盤,和與納米材料相關物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。

KosakaET4000探針式輪廓儀


ET4000具有高精確性、穩定性和重復性,可測量FPD、晶片、磁盤,和與納米材料相關物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。堅固的花崗巖材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復精度,并降低了地板噪音對測量的干擾。ET4000為滿足用戶不同應用方向的需要提供了多種可選配置,通過選配三維成像附件套裝還可以極大地擴充儀器的功能。


1.具有極佳的臺階高度重復性5Å(1σ)和線性度(垂直線性度:200nm以上為±0.25%;200nm以下為0.5nm);
2.高分辨率,縱軸最大分辨率為0.1nm,橫軸為0.01μm,可精確測量納米級至幾百微米級臺階高度;
3.超高直線度:0.005μm/5mm,可測定微細表面形狀、段差、平面度、粗度、應力分析等;
4.低測定力:采用直動力LVDT檢出器,觸針力在0.5μN~500μN范圍可以任意調節,可測定軟質材料;





5.即時監控系統:配置標準CCD,可即時監控量測位置;還可選購TopViewCCD,進行高精度定位量測;



6.可擴充成三次元設備和追加三次元解析軟件,觀察樣品全貌和測定臺階移動量;
 


7.采用天然金剛石(R2μm)作為探頭,經久耐用;





型號 ET4000M ET4000A ET4000L
最大樣品尺寸 300x300mm 210x210mm 300x400mm
樣品臺 尺寸 320x320mm 220x220mm 540x400mm
X軸傾斜度 ±1mm/150mm(機動傾斜)
Y軸傾斜度 —— ±1mm/150mm(機動傾斜)
承重 2Kg
檢出器 0.5μN-500μN(0.05mgf-50mgf)可調節
范圍 100μm
驅動 LVDT直動式(差動變壓器)
觸針 ET-1479(R2μm) ET-1479(R2μm)ET-1480(R0.5μm)
X軸 最大測長 100mm
直線度 0.005μm/5mm(0.1μm/100mm)
速度 0.005-2mm/s(定位速度10mm/s)
重復性 ±5μm(定位)
Y軸 最大測長 —— 150mm 400mm
直線度 —— 5μm/150mm
重復性 —— ±5μm(定位)
Z軸 最大測長 52mm
放大倍數 垂直 50-2000000
水平 1-10000
3D —— 可選擇
θ軸 —— 可選擇
輔助功能 教學、機動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等
監控系統 攝像裝置 1/2inchCCD(768x494像素)
監視裝置 視頻捕捉板
應用 成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度
重復性 1σ0.5nm
電源 AC100V800VA
外觀尺寸 W660xD580xH660mm200Kg W930xD930xH790mm380Kg





全自動接觸式輪廓儀ET4000系列可適用于薄膜、FPD、晶片、磁盤和與納米材料相關物件,測量微細表面形狀、段差、平面度、粗度、應力分析等,可廣泛應用于半導體、微量流控、精細加工和存儲器等行業。




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