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ET150臺階儀

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Kosaka ET150臺階儀

KOSAKAET150基于WindowsXP系統為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS及平板顯示等。

KosakaET150臺階儀



株式會社小坂研究所(KOSAKA)是于1950年創立,也是日本第一家發表光學杠桿表面粗糙度計,是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為最具代表性單位且在日本精密測定也占有一席無法被取代的地位。

KOSAKAET150基于WindowsXP操作系統為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。ET200能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。

ET150配備了各種型號探針,提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD原位采集設計,可直接觀察到探針工作時的狀態,更方便準確的定位測試區域。
 


型號 ET150
最大樣品尺寸 φ160x48mm
樣品臺 尺寸 φ160
傾斜度 ±2°(XY手動)
承重 2Kg
檢出器 觸針力 10μN-500μN(1mg-50mg)
范圍 600μm(0.1nm分辨率)
驅動 直動式(差動變壓器)
觸針 R2μm頂角60°
X軸 最大測長 100mm
直線度 0.02μm/100mm
速度 0.005-20mm/s
重復性 ±5μm(定位)
Y軸 最大測長 25mm/手動
Z軸 最大測長 50mm
放大倍數 垂直 50-2000000
水平 1-10000
監控系統 攝像裝置 1/3inchCCD
監視裝置 視頻捕捉板
移動方法 手動
輔助功能 教學、機動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等
應用 成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度
重復性 1σ1nm
電源 AC90-240V50/60Hz300VA
外觀尺寸 W500xD440xH630mm120Kg(不含防震臺)





 

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