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PE200真空等離子清洗機

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PE-200等離子表面處理系統

PE-200是一款工業強度的等離子清洗系統,牢固可靠,性價比高,適合各類制造型企業,能滿足7天X24小時不間斷運行。全鋁反應腔提供非常充裕的尺寸,可處理表面積超過500平方英寸。

PE-200型等離子表面處理系統


    PE-200是一款工業強度的等離子清洗系統,牢固可靠,而且性價比高,適合各類制造型企業能滿足7天X24小時不間斷運行。全鋁反應腔提供非常充裕的尺寸,可處理表面積超過500平方英寸。

    PE-200焊接鋁真空反應腔包含一個寬松的500平方英寸的有效等離子處理面積。通過PLASMETCH表面改性可以獲得增強的結合力和提升多數表面材料的潔凈度。

    典型的客戶包括:先進生產制造工程,研究和開發實驗室,測試工廠以及大學。工業客戶包括生物醫藥,牙科,電子,光電子,醫療器械,塑料,光學,太陽能電池電池板等。.


特性:
 

    使用我們的等離子清洗機處理,相比較化學浸泡方法,可以避免昂貴的有害化學廢水處理。等離子處理非常容易使用,通過導引型觸摸屏操作控制等離子過程的各個參數,來確保高重復性。
    我們可以為客戶定制反應腔和電極,來滿足您的產品或是過程需要,包括定制尺寸水平電極,RIE(反應離子蝕刻)和半導體引線邊框的布局。


 


標準配置:

焊接鋁真空反應腔
3層水平處理電極13”寬x16”深3”間隔距離
300瓦射頻發生器@13.56MHZ帶自動匹配網絡
一個200sccm質量流量控制器
皮拉尼真空計0-1托
微處理器控制系統,帶觸摸屏界面,存儲20組過程參數

PE-200提供三種功能配置:

1.常規的等離子清洗和等離子蝕刻
2.反應離子蝕刻(RIE)
3.PE-200可轉換配置,一個系統包含各向異性和各向同性等離子體處理可移除托盤配置。


選項

靜電防護
過程溫度控制
600W射頻發生器@13.56MHz帶600W自動匹配網絡
信號燈塔
2個質量流量控制器(最多3個)
軟件選擇5種過程氣體輸入矩陣
控制氮氣輸入速率
定制反應腔尺寸和電極尺寸
RIE(反應離子蝕刻)配置






客戶制作各種陶瓷部件,為了檢測等離子處理這些陶瓷的效果,處理前后進行接觸角測試。處理前,接觸角88度。處理后,接觸角降低到12度。接觸角在每個樣品的5個位置進行測試,接觸角偏差2度。接下來的測試顯示,接觸角較低會顯著提升結合力。



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